热解石墨
PYROID®热解石墨(PG)是一种专业的, “五九””纯洁, 化学气相沉积, 碳产品
热原集团提供零件和CNC加工,
我们还是特殊等级独立式PYROID®热解石墨薄膜(2-75微米厚度)的领先供应商,用于高能和辐射项目. 具有独特的热电特性.
PYROID®热解石墨用于因温度过高而面临问题的行业, 压力, 腐蚀, 和摩擦, 需要轻质材料解决方案.
技术数据
下面列出的是对热解石墨工艺的一般描述和关键性能的总结. 摘要还列出了产品的重要参数,因为它涉及到热管理的应用.
- PYROID®热解石墨明显不同于多晶石墨,属于特殊类别. 无颗粒组分和CVD沉积PG的独特结构, 每块晶圆的脱落率达到或低于10个,远远低于商用石墨, 接近于硅. 除了具有最低的已知侵蚀材料率, the size of the particulates generated is <0.1 μ m,落差分布均匀.
- 低离子溅射率在等离子体中的应用结果
in , 在等离子体设备中工作将近几百小时, 经济效益,提供总成本解决方案,提高生产力. PG由于其高导电性(在a-b平面)和碳提供的非常低的溅射速率的组合,被广泛用于离子和应用. 根据Ion Tech的说法,PG提供了任何用于网格的材料中最低的溅射侵蚀率. - 极低的金属杂质(根据要求提供典型的gdm数据).)
- PG在高温下表现良好,稳定至2200°C.
- PG接近碳的理论密度2.25 g/,因此基本上是无孔的,导致污染物不排气,并且在化学活性更高的蚀刻等离子体应用中非常稳定, 使用碳和三氟化氮, 攻击硅.
- PG具有优良的导热性, 在a-b方向接近铜, 而它在c方向上就像陶瓷一样. 处于退火PYROID®HT状态, 热传导性能提高到铜和铝的4到8倍, (热导率高达1700 W/m°K). 我们能够通过特殊的固定装置有选择地结合平面,以最大限度地利用其定向导电性. 在特殊的热管理应用中,它是一种极好的材料, 包括盖子和散热器.
MINTEQ®根据客户规格或图纸提供平面加工件或全加工件(如蚀刻阴极或网格)的PG. 我们有一个CNC装备的机械车间,并获得激光加工制造复杂的形状, 网格中的关键尺寸和孔型. 我们还提供一个特殊的表面处理过程后,零件加工,以消除颗粒碎片从零件.